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半導体CMP用語事典

精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会編. -- オーム社, 2008. <BB00043466>
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精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会編. -- オーム社, 2008. <BB00043466>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3階 500-2（技術） 549.7||Se 18 000029976 禁帯出 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3階 500-2（技術）
請求記号 549.7||Se 18
資料ID 000029976
状態 禁帯出
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体CMP用語事典 / 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会編
ハンドウタイ CMP ヨウゴ ジテン
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 2008.10
形態事項 vii, 262p : 挿図 ; 19cm
巻号情報
ISBN 9784274206122
その他の標題 標題紙タイトル:Chemical mechanical polishing
注記 標題紙と背の出版者表記: Ohmsha
注記 CMP装置の年表: p241-242
注記 参考文献: p253
学情ID BA8812697X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会
セイミツ コウガクカイ プラナリゼーション CMP ト ソノ オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 集積回路 -- 辞典||シュウセキカイロ -- ジテン
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