宇宙航空研究開発機構
ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • タグ履歴
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 新規購入依頼

宇宙航空研究開発機構

検索結果一覧へ戻る

Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990). -- American Institute of Physics, 1983. <ZY00000245>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990). -- American Institute of Physics, 1983. <ZY00000245>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

一括所蔵一覧 1件～2件（全2件）

巻号をクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 所蔵館 配置場所 配置場所2 請求記号 巻号 年月次 購読状況
0001 本社 本社図書館1F 1-2 1983-1984
0002 ISAS ISAS図書室1階 1-8 1983-1990
No. 0001
所蔵館 本社
配置場所 本社図書館1F
配置場所2
請求記号
巻号 1-2
年月次 1983-1984
購読状況
No. 0002
所蔵館 ISAS
配置場所 ISAS図書室1階
配置場所2
請求記号
巻号 1-8
年月次 1983-1990
購読状況
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society
巻次・年月次 Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990)
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics , 1983-1990
形態事項 8 v. : ill. ; 29 cm
その他の標題 略タイトル(雑誌書誌レコード):J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom
その他の標題 キータイトル(雑誌書誌レコード):Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Microelectronics processing and phenomena
注記 Title from cover
注記 Issued also on microfilm
学情ID AA10635106
本文言語コード 英語
刊行頻度コード 隔月刊
ISSN 0734211X
関連書誌リンク 継続前誌 :Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society <ZY00000366>
関連書誌リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena <ZY00000943>
書誌変遷リンク 継続前誌 :Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society <ZY00000366>
書誌変遷リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena <ZY00000943>
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ