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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <TW00000795>
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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <TW00000795>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本社 本社図書館1F 539.23||K||19094 10014158 0件
0002 ISAS ISAS研究室等 621.79||Ki 31 T20184 貸出中 2025/3/30 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本社
配置場所 本社図書館1F
請求記号 539.23||K||19094
資料ID 10014158
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 ISAS
配置場所 ISAS研究室等
請求記号 621.79||Ki 31
資料ID T20184
状態 貸出中
返却予定日 2025/3/30
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 東京大学出版会 , 1984.3
形態事項 ix, 231p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4130610473
注記 各章末: 参考文献
注記 一般的参考書: p226
学情ID BN00164488
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 金原, 粲(1933-)||キンバラ, アキラ <AU00000167>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
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