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Journal of vacuum science and technology

American Vacuum Society. -- Vol. 1, no. 1 (1964)-v. 21, no. 4 (1982). -- American Institute of Physics, 1964. <SB00001324>
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No. 所蔵館 配置場所 配置場所2 請求記号 巻号 年月次 購読状況
0001 図書館 B1製本雑誌 2-4, 6 1965-1969
No. 0001
所蔵館 図書館
配置場所 B1製本雑誌
配置場所2
請求記号
巻号 2-4, 6
年月次 1965-1969
購読状況
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書誌詳細

標題および責任表示 Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society
巻次・年月次 Vol. 1, no. 1 (1964)-v. 21, no. 4 (1982)
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics
学情ID AA00708677
本文言語コード 英語
ISSN 00225355
書誌変遷リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society <SB00001614>
書誌変遷リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. 2nd series. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society <SB00003339>
著者標目リンク American Vacuum Society <AU00014770>
件名標目等 Vacuum technology -- Periodicals
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