神奈川工科大学附属図書館

半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 第4版. -- 日刊工業新聞社, 1997. <BB00091993>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 549.8||N 111141032 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 549.8||N
資料ID 111141032
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
版事項 第4版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1997.11
形態事項 xvi, 547p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526040908
学情ID BA33584002
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 日本半導体製造装置協会
ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ <NC:DA02628777>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体 -- 辞典||ハンドウタイ -- ジテン